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商品明細

水洗式废气处理机

  • 料號:S001

商品詳細介紹Product Introduction

水洗式废气处理机是一台专门处理及分解各现场制程废气的系统,它运用了水溶解的方式,将制程所产生的废气溶解于水中并分解,再经由另一道程序的水处理而排放至厂务排放系统,所处理的废气包含大部份半导体厂、磊晶厂所使用的特殊气体。

商品特色

◆SEMI-S2 认证
◆低成本
◆拥有多段高溶解效率的洒水系统
◆彩色液晶萤幕显示控制器
◆独立的 Inlet 和 Outlet 压力表头
◆快速维修保养完成
◆設有多項偵測器,包含:水位、壓力錶 … 等

商品规格

产品规格:
设有四个废气处理入口端。
外观尺寸 ( 公厘 )-1400( 深 )*1200( 宽 )*1750( 高 )。
机台重量: 268 公斤 。
最高处理量可到达 1600 slm 。
选购配备:
出口端鼓风机
远端监控系统
自动切换系统
加热枪及加热带
水质酸碱测量供应系统
原理:

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