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商品明細

燃燒水洗式廢氣處理機

  • 料號:S003

商品詳細介紹Product Introduction

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統,它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,經由反應室二階段的高溫燃燒, 反應成粉末,或是反應成溶解於水中的物質,再經由另一道程序的水槽而排放至廠務處理系統,所處理的廢氣,包含大部份半導體廠及TFT - LCD 廠所使用的特殊氣體,維修保養的頻率少且時間短,不會影響生產的時程。

商品特色

◆工作溫度高達 1350 度,有效處理PFC、Gas
◆遠端監控系統,隨時掌握機台狀況
◆機台多使用循環水,用水量相當節省
◆雙壓力計,監測進口壓力與出口壓力
◆LCD 觸控式螢幕,具中英文介面,人性化操作
◆雙腔體各自獨力的控制系統,可自動by pass
◆反應腔體有特殊防阻塞、PFA 抗腐蝕之設計,能延長機台PM週期,縮短PM 時間
◆電路人機介面 PLC 控制系統,具 99.9 %的穩定性及準確性,維修亦簡單迅速
◆具 SEMI 認證, interlock 、即時警報、故障排除…等安全機制

配備選購

  • 出口端鼓風機
  • 遠端監控系統 
  • 自動切換系統
  • 加熱槍及加熱帶
  • 水質酸鹼測量供應系統

聯絡方式

尾氣處理設備產品 -
聯絡人: 蔡苑玲 / Debbie
聯絡電話:03-5511899#256、0912-236040
聯絡信箱:bsm88@satu88info.com

真空設備產品 -
聯絡人: 陳志欣 / Joyce
聯絡電話:03-5511899#271、0972-109900
聯絡信箱:bsm66@satu88info.com
 

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